Исследователи из США сообщают о значительном успехе в области тонкопленочных ИС, содержащих сетки углеродных нанотрубок на пластиковом субстрате. Такие ИС показывают отличные электронные свойства и могут найти применение в таких приложениях, как бумагоподобные дисплеи, интеллектуальные упаковки для продуктов и персональные носимые устройства для мониторинга состояния здоровья.

По заявлению ученых, ими впервые были продемонстрированы все ключевые элементы – от материалов и стратегии интеграции до физических и моделирующих схемы инструментов – для реализации технологии, базированной на нанотрубках, которая может найти применение в гибкой электронике. Привлекательность их подхода заключатся в том, что он предоставляет значительные преимущества в производительности по сравнению с более широко распространенными системами, использующими для полупроводников аморфный кремний или полимеры.

Схемы строились с применением нанотрубчатой сетки в качестве эффективного тонкопленочного полупроводника на пластиковом субстрате. Вытравливая определенные структуры на сетке, ученые обнаружили хорошую повторяемость свойств получаемых устройств. Из таких устройств можно затем построить ИС с помощью послойного процесса, подобного уже используемому в тонкопленочной электронике.