Компания Linde Group предложила заменить трифторид азота NF3, применяющийся при производстве жидкокристаллических дисплеев и солнечных батарей, на фтор, что сделает производство более экономным и щадящим для окружающей среды.

Газ NF3 опасен прежде всего тем, что при попадании в атмосферу он усиливает глобальное потепление. Процесс, предложенный компанией, устраняет его выброс и позволяет снизить стоимость производимого оборудования.

Сообщается, что данный метод был протестирован в Linde Application Development Lab в Калифорнии. В результате испытаний выяснилось, что применение фтора является очень выгодным для очистки оборудования – благодаря этому ликвидируется эффект «бутылочного горлышка» и повышается продуктивность.